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    日本ULVAC 羅茨泵技術資料

    更新時間:2015-12-28 點擊量:1276

    羅茨泵與油旋片真空泵、水環泵組合用,可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設計的。 

    特長 
    結凈的真空 
    腔體內沒有潤滑油,對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。 
    能在高吸入壓強下運轉 
    選用比標準電機容量大一級的電機,即可實現在高吸入壓強下的運轉。 

    用途 
    照明、電子、光學、半導體鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐分析儀器、檢漏設備,CO2激光設備

     

            機 型

    NB100A

    NB300A

    NB600A

    NB1200A

    項 目

    抽氣速率*3

       m3/h(L/min)

    50Hz

    95(1580)

    280(4670)

    500(8330)

    1000(16667)

    60Hz

    115(1920)

    330(5500)

    600(10000)

    1200(20000)

    zui大吸入壓力      Pa

    (連續運轉時)      

    50Hz

    1.3×103

    1.2×103

    1.3×103

    60Hz

    1.3×103

    9.3×102

    1.1×103

    zui大允許壓力差    Pa

    (排出壓力-吸入壓力)   

    50Hz

    8.0×103

    4.0×103

    7.3×103

    60Hz

    6.7×103

    3.3×103

    6.0×103

    極限壓力          Pa*1

    4.0×10‐1

    6.7×10‐1

    標準粗抽泵

    GLD-N280

    VDN301

    VDN401

    VSN1501

    VSN2401

    VSN1501

    VSN2401

    電    機          kW (極) *2 *4

    0.4(2)

    0.75(2)

    2.2(2)

    3.7(2)

    V-Hz

    380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz

    使 用 油

    ULVOIL® R-4

    所需油量          L

    0.35

    0.70

    1.50

    1.90

    冷卻水量          L/min*6

    空 冷

    2 *5

    2

    3

    進水壓力          MPa

     

    0.3

     

    進出水壓差        MPa

    0.05

    0.1

    重    量          kg

    24

    49

    77.5

    110

    吸氣口徑 (JIS B 2290)

    相當 VG50

    相當 VG80

    相當VG80

    相當VG100

    排氣口徑 (JIS B 2290)

    相當VF50

    相當VF80

    相當VF80

    相當VF80

           

     

    *1  用皮拉尼真空計測量的值,如用麥氏真空計測量,則為4.0×10-2Pa(3.0×10-4Torr),而NB1200A則為6.7×10-2Pa(5.0×10-4Torr)。

    *2  電源為AC380V、50Hz、三相。

    *3  隨粗抽泵的性能而變化,表中為標準泵的組合的數據。

    *4  NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機。

    *5  對于530Pa(4Torr)以下可用空冷,但530Pa(4Torr)以上進行連續運轉必須用水冷。

    *6  冷卻水溫為5~30℃。

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