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    產(chǎn)品列表 / products

    日本ULVAC CFB-1200F風(fēng)冷復(fù)合分子泵技術(shù)資料

    更新時間:2015-12-28 點擊量:1326

    一、產(chǎn)品簡介

            CFB-F系列風(fēng)冷復(fù)合分子泵的性能與復(fù)合分子泵一樣,適用于沒有水源且環(huán)境溫度不高的地方,或經(jīng)常移動的排氣機組等。

     

    二、產(chǎn)品特點

            復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng);由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

     

    三、主要性能指標

     

    型號

    CFB-1200F

    訂貨號

    3165

    3166

    進氣口法蘭

    LF200

    CF200

    排氣口法蘭

    KF40

    抽氣速率

    L/s

    1200

    壓縮比N2/H2

    1×109/1×104

    極限壓強

    Pa

    5×10-7

    8×10-8   

    電機轉(zhuǎn)速

    rpm

    24000

    啟動時間

    min

    <5

    振動值

    μm

    ≤0.1

    前極泵

    L/s

    8-15

    冷卻方式

    (環(huán)境溫度<37℃)

    泵體烘烤溫度

    <120

    加熱器功率

    W

    <600

    加熱器輸入電壓

    V

    AC220

    安裝方向

    垂直±5°

    重量

    kg

    ~35

     


    四、特性曲線及安裝尺寸

     

    CFB系列風(fēng)冷復(fù)合分子泵安裝尺寸表

     

    型號規(guī)格

    CFB-1200F

    高真空法蘭

    LF200

    CF200

    D1

    Ф240

    Ф253

    D2

    Ф267

    Ф267

    D3

    □167.6

    □167.6

    L1

    142

    142

    L2

    152

    152

    H1

    467

    467

    H2

    70

    70

    H3

    178.5

    178.5

    H4

    151

    151

    泵腿螺釘孔

    4-M8

    4-M8

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